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X射线掠入射法测定金刚石薄膜厚度的研究

方建锋 , 唐伟忠 , 张晋远 , 郑毅

物理测试

本文研究了用近平行的入射X射线，以掠入射的方式，利用薄膜下基体某一晶面衍射强度随掠入射角的变化关系来测定薄膜厚的方法。导出了基体某一晶面的衍射强度的对数InIr与掠入射角函数f(r)之间的线性关系，发现该直线的斜率即为薄膜的线吸收系数与其厚度的乘积。对WCCo硬质合金上的金刚石薄膜厚度进行了测定，并对该方法的重复性进行了验证。结果表明，InIr与f(r)之间的具有很好的线性相关性，而且该方法具有较好的精确性。

关键词: 掠入射X射线衍射 , diamond thin film , thickness determination